【艸部-薄膜積體電路】

吳華敏

【艸部-薄膜積體電路】

第1732頁

【薄膜積體電路】ㄅㄛˊ   ㄇㄛˋ   ㄐㄧ   ㄊㄧˇ   ㄉㄧㄢˋ   ㄌㄨˋ

（thin    film    integrated    circuit）倂合積體電路依其晶膜之厚度分成薄膜積體電路與厚膜積體電路。

薄膜積體電路是在基板上以真空蒸著的方法蒸著1微米（μm）厚度的物質，以形成電阻、電容或配線等。

在配線處蒸著上金屬；在電阻體部分蒸著上電阻係數較大的金屬；

在絕緣體部分蒸著上非金屬氧化物；

在電容器部分則於上下兩層導體間蒸著不導電之介質。