【掃描式電子顯微鏡】

豐碩

【掃描式電子顯微鏡】

 

ScanningElectronMicroscopy

 

【辭書名稱】環境科學大辭典

 

主要用於觀察固體表面次微米尺度之物理結構，其構造如下圖所示。

 

掃描式電子顯微鏡所產生之訊號為電子束（非一般光譜法中之光束）被分析物激發所致。

 

電子束係由可變高壓電源供應器控制之電子槍所產生，電子束經由磁場凝集鏡及磁場接物鏡系統後，電子束被聚集在樣品上5至20nm之一小區域。

 

在磁場接物鏡系統中有兩對線圈，其中一對控制電子束在X方向之偏移，一對控制電子束在Y方向之偏移，控制線圈即可進行掃描之動作。

 

電子束撞擊樣品後，散射之電子、新產生之電子等，則以閃爍偵測器(scintillationdetector)偵測，所偵測之訊號經轉換放大後顯示於陰極射線螢光幕(CRT)上。

 

掃描式電子顯微鏡除可直接從CRT上控制對比度、亮度、影像旋轉、局部放大等功能外，並有自動對焦、動態、變焦、自動照相、影像處理及電腦套色等裝置。

 

 

轉自:http://edic.nict.gov.tw/cgi-bin/tudic/gsweb.cgi?o=ddictionary