吳華敏 發表於 2022-11-9 09:04:20

【隹部-離子植入法】

<div align="center"><font size="5"><b>【<font color="Red">隹部-離子植入法</font>】</b><br></font></div><b><br>第2124頁<br><br>【離子植入法】ㄌㄧˊ&nbsp;&nbsp;&nbsp; ㄗˇ&nbsp;&nbsp;&nbsp; ㄓˊ&nbsp;&nbsp;&nbsp; ㄖㄨˋ&nbsp;&nbsp;&nbsp; ㄈㄚˇ<br><br>(ion&nbsp;&nbsp;&nbsp; implantation)為半導體製造技術之一。<br><br>把帶電雜質離子,用高達300Kev以上的能量使其加速而撞擊矽晶薄層等半導體,使停留在適當的深度,達到摻雜作用。<br><br></b><p></p>
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