【艸部-薄膜積體電路】
<div align="center"><b><font size="5">【<font color="Red">艸部-薄膜積體電路</font>】</font></b><br></div><b><br>第1732頁<br><br>【薄膜積體電路】ㄅㄛˊ ㄇㄛˋ ㄐㄧ ㄊㄧˇ ㄉㄧㄢˋ ㄌㄨˋ<br><br>（thin film integrated circuit）倂合積體電路依其晶膜之厚度分成薄膜積體電路與厚膜積體電路。<br><br>薄膜積體電路是在基板上以真空蒸著的方法蒸著1微米（μm）厚度的物質，以形成電阻、電容或配線等。<br><br>在配線處蒸著上金屬；在電阻體部分蒸著上電阻係數較大的金屬；<br><br>在絕緣體部分蒸著上非金屬氧化物；<br><br>在電容器部分則於上下兩層導體間蒸著不導電之介質。</b><p></p>
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